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S-340 压电偏摆台
    发布时间: 2023-02-08 00:33    


德国PI
高动态，用于直径长达75毫米（3英寸）的反射镜和光学元件，分辨率高达20纳弧度，优异的位置稳定性
光束偏转达4毫弧度
并联运动实现更高精度和动态
亚微秒级响应时间
用于直径长达75 毫米（3英寸）的反射镜；根据要求直径可达100 毫米（4英寸）
闭环版本可实现更佳的线性度
优异的温度稳定性

S-340 压电偏摆台




S-340 压电偏摆台

紧凑带直流或步进电机




零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。


应用领域

  •     图像处理/稳定

  •     光学捕获

  •     激光扫描/带大偏转角的光束偏转

  •     激光调谐

  •     光学过滤器/开关

  •     光学

  •     激光束稳定


规格参数



S-340.ASD / ASL
S-340.A0L
单位
公差

主动轴

θX, θY

θX, θY



运动和定位




集成传感器

应变片传感器

-



θX、θY向上-20至+120伏时的开环偏摆角

2

2

毫弧度

最小

θX、θY向上的闭环偏摆角

2

-

毫弧度


θX、θY向上的开环分辨率

0.02

0.02

微弧度

典型值

θX、θY向上的闭环分辨率

0.2

-

微弧度

典型值

θX、θY向上的线性误差

0.1

-

%

典型值

θX、θY向上的重复精度

0.15

-

微弧度

典型值

机械特性




θX、θY向上的空载谐振频率

1.4

1.4

千赫兹

±20 %

θX、θY向上带负载时的谐振频率（带玻璃反射镜，直径50毫米，厚度15毫米）

0.9

0.9

千赫兹

±20 %

θX、θY向上带负载时的谐振频率（带玻璃反射镜，直径75毫米，厚度22毫米）

0.4

0.4

千赫兹

±20 %

枢轴点至平台表面的距离

7.5

7.5

毫米

±1 毫米

平台 惯性力矩

18000

18000

克 × 平方毫米

±20 %

驱动特性




陶瓷类型

PICMA

PICMA



电容

6/轴

6/轴

微法

±20 %

其他




工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

°C


外壳材料

铝

铝



平台材料

铝；或可选择钢、钛或殷钢

铝；或可选择钢、钛或殷钢



质量

0.355

0.350

千克

±5 %

电缆长度

2

2

米

+100毫米/-0毫米

传感器/电压连接

ASD版本：Sub-D 25针（公头）

ASL版本：LEMO

LEMO



推荐电控

E-616，E-727

E-616，E-727




因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。