
可选 266nm,355nm,532nm,1064nm
基模光束轮廓
长相干长度
调Q固体激光器
可定制
可选 266nm,355nm,532nm,1064nm
基模光束轮廓
长相干长度
调Q固体激光器
可定制
| 参数 | 型号 | EXCITE 266 | EXCITE 355 | EXCITE 532 | EXCITE 1064 |
| 波长 | 266 nm | 355 nm | 532 nm | 1064 nm |
| 光谱带宽 | < 60 MHz | < 50 MHz | < 50 MHz | < 30 MHz |
| 平均功率 | > 150 mW | > 500 mW | 2.5 W | 6 W |
| 脉冲宽度 | 10-15 ns | 14-18 ns | 15-20 ns | 20-30 ns |
| 单脉冲能量 | > 12.5 µJ | > 40 µJ | 160 µJ | 400 µJ |
| 重复频率 | 1 - 30 kHz | 1 - 30 kHz | 1 - 30 kHz | 1 - 30 kHz |
| 光束质量 | M² < 1.7 | M² < 1.3 | M² < 1.2 | M² < 1.2 |
| 脉冲脉冲稳定性 | σ < 1.5% | σ < 1.0% | σ < 0.8 % | σ < 0.3 % |
| 相干长度 | > 2.5 m | > 3.0 m | > 3.0 m | > 5 m |
| 应用 | 晶圆检测 | |||