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纳米定位平台 PIMars

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<p><span style="font-size: 14px;">德国PI公司PIMars纳米定位平台，X、Y 轴采用并联运动学设计，响应速度更快，多轴定位精度更高：<br/><br/>行程范围可达 300×300×300 µm<br/>电容式传感器确保极高线性度<br/>无间隙高精度柔性导轨，扫描平面度优异<br/>XYZ 版本具备高动态性能<br/>通光孔径 66 mm×66 mm<br/>采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命卓越<br/><br/>应用领域：扫描显微镜、掩模 / 晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描与筛选</span></p><br/>

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