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<p><span style="font-size: 12px;"></span></p><p><span style="font-size: 12px;">X、Y 轴采用并联运动学设计，响应速度更快，多轴定位精度更高</span></p><ul style="color: rgb(0, 0, 0); font: 16px / 24px ui-sans-serif, system-ui, sans-serif, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", "Segoe UI Symbol", "Noto Color Emoji"; font-size: 16px; font-weight: 400; line-height: 24px; text-align: start; white-space: normal; display: block; flex: 0 1 auto; flex-direction: row; justify-content: normal; align-items: normal; padding: 0px; margin: 0px; background: none; background-color: rgba(0, 0, 0, 0);" class=" list-paddingleft-2"><li><p><span style="font-size: 12px;">行程范围可达 300×300×300 µm</span></p></li><li><p><span style="font-size: 12px;">电容式传感器确保极高线性度</span></p></li><li><p><span style="font-size: 12px;">无间隙高精度柔性导轨，扫描平面度优异</span></p></li><li><p><span style="font-size: 12px;">XYZ 版本具备高动态性能</span></p></li><li><p><span style="font-size: 12px;">通光孔径 66 mm×66 mm</span></p></li><li><p><span style="font-size: 12px;">采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命卓越<br/></span></p></li><li><p><span style="font-size: 12px;"><br/></span><span style="font-size: 12px;">应用领域： 扫描显微镜、掩模 / 晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描与筛选</span><br/></p></li></ul>
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