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  • PIMars 纳米定位平台

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    X、Y 轴采用并联运动学设计，响应速度更快，多轴定位精度更高

    • 行程范围可达 300×300×300 µm

    • 电容式传感器确保极高线性度

    • 无间隙高精度柔性导轨，扫描平面度优异

    • XYZ 版本具备高动态性能

    • 通光孔径 66 mm×66 mm

    • 采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命卓越


    • 应用领域： 扫描显微镜、掩模 / 晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描与筛选

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产品详情

X、Y 轴采用并联运动学设计，响应速度更快，多轴定位精度更高

  • 行程范围可达 300×300×300 µm

  • 电容式传感器确保极高线性度

  • 无间隙高精度柔性导轨，扫描平面度优异

  • XYZ 版本具备高动态性能

  • 通光孔径 66 mm×66 mm

  • 采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命卓越


  • 应用领域： 扫描显微镜、掩模 / 晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描与筛选


  • PICMA® 压电执行器，使用寿命卓越：PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘设计，可有效抵御湿气影响，避免因漏电流增大导致的故障。相较于传统聚合物绝缘执行器，其使用寿命延长至 10 倍，可实现 1000 亿次循环无故障运行。


  • 电容式传感器，亚纳米级分辨率：电容式传感器采用非接触式测量，分辨率可达亚纳米级，确保运动具备出色的线性度、长期稳定性，且带宽达到 kHz 级别。


  • 无间隙柔性导轨，导向精度高：柔性导轨无需维护、无摩擦、无磨损，且无需润滑。其高刚度特性保证了高负载能力，同时抗冲击、抗振动，可在宽温度范围内稳定工作。


  • 自动配置，组件快速更换：机械结构与控制器可按需组合并快速更换。所有伺服参数和线性化参数均存储在机械结构 D-sub 连接器的 ID 芯片中，数字控制器的自动校准功能在每次开机时都会自动调用这些数据。


  • 并联位置测量，纳米级跟踪精度：所有自由度均相对于单一固定参考点进行测量，可实时主动补偿轴间非期望串扰（主动导向，取决于带宽）。即使在动态运行状态下，也能实现纳米级的高跟踪精度。


**详细参数见规格书

德国PI PIMars 纳米定位平台 https://pro8af988a6-pic13.ysjianzhan.cn/upload/P-561-P-562-P-563-Datasheet.pdf