技术创新

早在 1992 年，德国Sacher-Laser公司便成为全球首家向市场推出增透膜激光二极管（AR Coated）的企业；而全球首例增透膜镀膜工艺的成功实现，最早可追溯至 1987 年马尔堡大学实验室。

产品概述

激光二极管LD是高性价比光电器件，应用场景覆盖面极广。绝大多数计量、传感类应用，均对激光器光谱性能有优化需求，工程上一般采用外腔结构实现光谱性能提升。若要实现外腔与激光二极管LD的高效耦合，需对激光管前端腔面做增透镀膜处理。

增透膜激光二极管优势 —— 激光整机性能

搭载德国Sacher-Laser公司的增透膜激光二极管的激光系统可实现交钥匙整机级稳定输出，无需长时间反复调试工作点电流与温度参数。 迄今已有超15000 支本司增透膜激光二极管落地各类科研实验及工业激光设备，丰富量产经验可为客户提供可靠保障。激光系统配套选型，请优先选用原厂标准增透镀膜芯片。

增透膜激光二极管优势 —— 波长调谐性能

在外腔激光系统中采用本司增透膜激光二极管，相较普通未镀膜激光二极管，总波长调谐范围可提升一倍，可轻松覆盖常规标准波长以外的光谱波段。

增透膜激光二极管优势 —— 宽无跳模调谐区间

普通激光二极管接入外腔光路后会形成耦合谐振腔系统，进而引发相干坍塌（Sacher 等人，《物理评论 A》，45 卷，1893 页，1992 年），仅能实现数 GHz 的极窄调谐范围。 德国Sacher-Laser公司的增透膜激光二极管可使外腔激光ECDL获得超大无跳模光谱调谐范围；其中德国Sacher-Laser公司的利特曼型ECDL外腔激光器专为实现超宽无跳模调谐特性定制开发。

镀膜技术指标

腔面反射率 R≤5×10⁻⁴，典型量产水平可达 R≤5×10⁻⁵。 德国Sacher-Laser公司标准镀膜工艺的最低反射率指标，控制在 5×10⁻⁴以内，典型实测值优于 5×10⁻⁵。 该优异镀膜指标源于十余年增透镀膜成熟制备工艺积淀（美国专利号：6,297,066）。

半导体激光二极管的腔面反射率检测方法

受激光芯片微小尺寸限制，无法直接测量腔面反射率。德国Sacher-Laser公司采用间接测算方案，检测原理参考卡米诺夫等人提出的检测方法（《IEEE 量子电子学期刊》，QE-19 卷，493 页，1983 年）。 希尔德布兰特等人于 2003 年 4 月在《应用光学》刊发文献，给出了该检测方法在新一代氮化镓（GaN）激光管上的实测应用案例。

增透镀膜对激光二极管光电特性的影响

增透镀膜会大幅改变半导体激光器本征物理特性，最直观的两项变化为：阈值电流、光谱输出特性。

品质管控体系

每一支增透膜激光二极管的出货均配套独立器件规格数据表，表内完整记录器件光功率 - 电流（PI）曲线变化特征及光谱性能参数。

寿命可靠性测试数据

德国Sacher-Laser公司选取 25 支同批次增透膜激光二极管开展加速老化寿命试验；测试结果表明：在标准合规驱动工况下，增透镀膜工艺不会缩短激光二极管的平均失效前时间（MTTF）。详细试验数据可查阅对应技术链接。

成套量产制造能力

德国Sacher-Laser公司公司拥有覆盖激光二极管封装、腔面增透镀膜全流程的完整产线。

激光巴条镀膜工艺

德国Sacher-Laser公司自主研发一套专用于激光巴条的增透镀膜工艺，相关技术已纳入美国专利 6,297,066 保护范围。