
德国HP-Spectroscopy Beamline light sources 光束线光源,不同的型号,可以应用于:
光电子能谱(时间分辨角分辨光电子能谱)
相干衍射成像
时间分辨极紫外光谱学
阿秒科学
先进层析成像
极紫外光刻计量检测
自旋电子学
德国HP-Spectroscopy Beamline light sources 光束线光源,不同的型号,可以应用于:
光电子能谱(时间分辨角分辨光电子能谱)
相干衍射成像
时间分辨极紫外光谱学
阿秒科学
先进层析成像
极紫外光刻计量检测
自旋电子学
德国HP-Spectroscopy 产品包含多款一体化真空波段辐射光源,可实现同步辐射级测试表征。基于 HHG 技术的光束线 (Beamline) ,是高性能的台式科研设备,能够输出具备激光相干特性的 XUV 与软 X 射线辐射。HP-Spectroscopy 有多款 beamLINE 设备已用于等离子体物理、表面科学相关基础研究。激光驱动等离子体光源 proLINE 是交钥匙式 EUV 辐射源,可提供 broadband 宽谱输出与 monochromatized 单色化输出两种模式。
不同的型号,可应用于:光电子能谱(时间分辨角分辨光电子能谱)、相干衍射成像、时间分辨极紫外光谱学、阿秒科学、先进层析成像、极紫外光刻计量检测、自旋电子学。
beamLINE(多功能 HHG 光源) | 依托高次谐波产生技术,输出类激光相干 XUV、软 X 射线辐射。可选配件十分丰富,包含聚焦模组、monochromator 光路单元、次级光束耦合输入模块;可根据实验指标定制复杂科研光路系统。 |
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proLINE(紧凑型 EUV 光源) | 交钥匙式辐射光源,光谱覆盖区间 1–20 nm(光子能量 60–1000 eV);等离子体输出长期稳定,设备维护量低,配套软件控制,操作直观简单。可选配聚焦组件与 monochromator 模块。 |
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德国HP-Spectroscopy Beamline light sources 光束线光源