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  • EUV|软X射线|XUV 反射镜

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    德国进口EUV|软X射线|XUV反射镜

    EUV极紫外反射镜：适配 13.5 nm (标准款、定制款)
    软X射线反射镜：定制，1 nm～13.5 nm（1 keV～100 eV）
    XUV反射镜：定制，13.5 nm～100 nm（10 eV～100 eV）

    支持光学参数、镜片规格、基底材料的定制。
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产品详情
德国进口EUV|软X射线|XUV反射镜

EUV极紫外反射镜：适配 13.5 nm (标准款、定制款)
软X射线反射镜：定制，1 nm～13.5 nm（1 keV～100 eV）
XUV反射镜：定制，13.5 nm～100 nm（10 eV～100 eV）

支持光学参数、镜片规格、基底材料的定制。

极紫外反射镜

EUV Mirrors

适配 13.5 nm (标准款)

光学性能：R > 65 % @ 13.5 nm, λ = (13.50 ± 0.05) nm, FWHM > 500 pm
镜面规格：
直径 1 英寸，厚度 6.35 mm；平面 / 球面凹面；面形精度 λ/20

基底材料：熔融石英

适配 13.5 nm (定制款)

光学性能：可按需求优化反射率、入射角、工作带宽

镜面规格：最大口径 650 mm；平面、球面凹 / 凸、柱面、环面、椭球面、抛物面；面形精度最高 λ/50

基底材料：熔融石英、单晶硅、超低膨胀玻璃（ULE）、金属基底

软X射线反射镜

Soft X-Ray Mirrors

全部为定制产品


波段范围：1 nm～13.5 nm（1 keV～100 eV）

光学性能：可按需求优化反射率、入射角、工作带宽

镜面规格：最大口径 650 mm；平面、球面凹 / 凸、柱面、环面、椭球面、抛物面；面形精度最高 λ/50

基底材料：熔融石英、单晶硅、超低膨胀玻璃（ULE）、金属基底

典型应用

  • 水窗波段显微成像多层膜反射镜（2.3 nm～4.4 nm）

  • 同步辐射光束线反射镜

  • 空间太阳极紫外探测多层膜反射镜

XUV 反射镜

XUV Mirrors

全部为定制产品

波段范围：13.5 nm～100 nm（10 eV～100 eV）

光学性能：可按需求优化反射率、入射角、工作带宽

镜面规格：最大口径 650 mm；平面、球面凹 / 凸、柱面、环面、椭球面、抛物面；面形精度最高 λ/50

基底材料：熔融石英、单晶硅、超低膨胀玻璃（ULE）、金属基底

典型应用


  • 高次谐波（HHG）光源配套多层膜反射镜

  • 空间太阳极紫外探测多层膜反射镜