
SID4 UV 是 Phasics 高性价比高分辨率紫外波前传感器,测量波段低至 190nm,适配紫外光学检测。可用于光刻、半导体领域的紫外激光表征,以及透镜、晶圆的表面面型检测,为紫外波段光学计量提供紧凑可靠的测量方案。
SID4 UV 是 Phasics 高性价比高分辨率紫外波前传感器,测量波段低至 190nm,适配紫外光学检测。可用于光刻、半导体领域的紫外激光表征,以及透镜、晶圆的表面面型检测,为紫外波段光学计量提供紧凑可靠的测量方案。
| 高分辨率波前传感器 SID4 UV | Spectral Range 紫外(190 - 400 nm) 作为最低可至波长190 nm的高分辨率波前传感器,SID4 UV非常适合于紫外光学测量,包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征,以及透镜和晶圆的表面面型检测。
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| 特点 |
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| 应用 |
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| 关于 Phasics | 高分辨率波前传感领域的创新技术与专业实力飞思科 Phasics 提供完整的波前测量系统及定量相位成像解决方案。Phasics 独有的专利技术四波横向剪切干涉技术(Quadriwave Lateral Shearing Interferometry,QWLSI), 旨在突破传统 Shack-Hartmann波前传感技术的性能限制,可实现超高空间分辨率(最高达 852 × 720 个测量点)、亚纳米级高灵敏度以及高达数百微米的大动态范围。 基于 QWLSI 技术,飞思科 Phasics 波前传感器具有结构紧凑、宽光谱适用性强、操作灵活等特点。即使面对高度发散的光束,也可在无需额外中继光学系统的情况下直接进行测量,有助于简化光路配置,并提高系统集成的便利性。除波前测量本身外,飞思科 Phasics 还具备深厚的波前分析与数据处理能力。针对不同应用,配套的软件平台提供相应的分析工具,将高分辨率波前数据进一步转化为可直接用于光学性能评估、系统调校及研发分析的量化结果。围绕实际应用需求,飞思科 Phasics 持续拓展 QWLSI 技术的功能与应用场景,并可根据客户的具体测量需求,对标准系统进行配置调整与定制,为研发、生产和检测环节提供更具针对性的解决方案。 |
| 指标 | 参数 |
| 波长范围 | 190 - 400 nm |
| 靶面尺寸 | 7.8 x 7.8 mm² |
| 空间分辨率 | 26 µm |
| 取样分辨率 | 300 x 300 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 绝对精度 | 15 nm RMS |
| 取样速度 | > 15 fps |
| 实时处理速度* | 2 fps (全分辨率下)* |
| 接口种类 | 以太网口 |
| 尺寸(宽x高x长) | 74 x 71 x 91 mm³ |
| 重量 | 约600g |