• 最低至190nm波长感光灵敏

• 2  nm RMS高相位灵敏度

• 512x 512超高相位取样分辨率

• 激光、自适应光学、等离子体检测

• 光学元件、光学系统计量

• 光刻

• 半导体等光学组件表征

• 半导体表面面型检测 (透镜表面面型检测，晶圆表面面型检测）

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高分辨率波前传感领域的创新技术与专业实力

飞思科 Phasics 提供完整的波前测量系统及定量相位成像解决方案。Phasics 独有的专利技术四波横向剪切干涉技术（Quadriwave Lateral Shearing Interferometry，QWLSI）, 旨在突破传统 Shack-Hartmann波前传感技术的性能限制，可实现超高空间分辨率（最高达 852 × 720 个测量点）、亚纳米级高灵敏度以及高达数百微米的大动态范围。

基于 QWLSI 技术，飞思科 Phasics 波前传感器具有结构紧凑、宽光谱适用性强、操作灵活等特点。即使面对高度发散的光束，也可在无需额外中继光学系统的情况下直接进行测量，有助于简化光路配置，并提高系统集成的便利性。除波前测量本身外，飞思科 Phasics 还具备深厚的波前分析与数据处理能力。针对不同应用，配套的软件平台提供相应的分析工具，将高分辨率波前数据进一步转化为可直接用于光学性能评估、系统调校及研发分析的量化结果。围绕实际应用需求，飞思科 Phasics 持续拓展 QWLSI 技术的功能与应用场景，并可根据客户的具体测量需求，对标准系统进行配置调整与定制，为研发、生产和检测环节提供更具针对性的解决方案。